SOI,高温压力传感器 - 传感器应用模块

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采用半导体SOI材料和微机械加工技术研制成的可高温工作的压力传感器，工作温度范围为-45~180°C。它采用先进的梁膜结构设计和应力匀散技术，使芯片具有耐高温及瞬时高温冲击的能力、超高量程、高过载等特点。大量应用于航天航空、能源运输、石油勘采、化工热工自动化、冶金自动化、汽车传感器等压力自控测试设备。

量程范围			产品型号	灵敏度（满量程输出）	非线性（典型值）	在线订购
KPa	bar	psi	产品型号	灵敏度（满量程输出）	非线性（典型值）	在线订购
20	0.2	2.9	HPTA0020	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
40	0.4	5.8	HPTA0040	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
100	1	14.5	HPTA0100	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
200	2	29	HPTA0200	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
700	7	101.5	HPTA0700	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
1000	10	145	HPTA1000	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
2000	20	290	HPTA2000	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
4000	40	580	HPTA4000	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
6000	60	870	HPTA6000	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
25000	250	3625	HPTA25000	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%
40000	400	5800	HPTA40000	VFS ≥ 40mV	NL ≤ 0.2%

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SOI 高温压力传感器